中微公司获得发明专利授权：“一种升举顶针组件及等离子体反应装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种升举顶针组件及等离子体反应装置”，专利申请号为CN202110679258.9，授权日为2026年4月14日。

专利摘要：本发明提供一种升举顶针组件，用于一真空反应腔内，所述真空反应腔内包含基座和静电吸盘，基座上的各个通孔与静电吸盘上对应的通孔形成竖直方向的通道，所述升举顶针组件包含：升举顶针，用于穿过对应的通道托举晶圆，实现晶圆与静电吸盘表面的分离；套筒，固定连接设置在基座下方，并与升举顶针所在的通道位置对应；第一法兰，设置在套筒内并与套筒间隙配合，升举顶针的底部固定连接所述第一法兰；通过驱动装置驱动第一法兰在套筒内上下运动；若干个导电的弹性装置，所述弹性装置弹性连接设置在第一法兰外壁与套筒内壁之间，实现第一法兰与套筒等电势。本发明还提供一种等离子体反应装置。本发明的升举顶针组件能够防止在射频环境下放电打火。

今年以来中微公司新获得专利授权45个，较去年同期减少了10%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了24.75亿元，同比增74.61%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了29家企业，参与招投标项目76次；财产线索方面有商标信息109条，专利信息1661条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可77个。

数据来源：天眼查APP

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