晶合集成获得发明专利授权：“一种曝光机焦点补偿方法及曝光机焦点补偿系统”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示晶合集成（688249）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种曝光机焦点补偿方法及曝光机焦点补偿系统”，专利申请号为CN202512016732.0，授权日为2026年4月14日。

专利摘要：本发明提供一种曝光机焦点补偿方法及曝光机焦点补偿系统，曝光机焦点补偿方法通过旋转获得多组旋转后GRP形变校正映射图和旋转后Z向波动量，并将其与第一Z向波动量进行计算得到Z向波动差异值，并通过Z向波动差异值识别出晶圆表面是否异常，并在异常时中止补偿，避免误操作，主动排除异常晶圆降低生产晶圆报废，且测试过程中就可以快速筛选出标准晶圆状态。取得的预想不到的技术效果：可以提前筛出异常标准晶圆（如微粒污染），阻断MGSC误补偿链路，以从源头避免关键尺寸离焦。

今年以来晶合集成新获得专利授权153个，较去年同期增加了62.77%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了14.53亿元，同比增13.2%。

通过天眼查大数据分析，合肥晶合集成电路股份有限公司共对外投资了11家企业，参与招投标项目642次；财产线索方面有商标信息75条，专利信息1601条，著作权信息9条；此外企业还拥有行政许可26个。

数据来源：天眼查APP

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