中微公司获得发明专利授权：“在晶圆上确定静电夹盘中心的方法以及晶圆对中方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“在晶圆上确定静电夹盘中心的方法以及晶圆对中方法”，专利申请号为CN202111153271.7，授权日为2026年4月14日。

专利摘要：本发明提供一种在晶圆上确定静电夹盘中心的方法，包括：获取晶圆上颗粒物的分布图像；根据晶圆上颗粒物的分布图像计算获得每一凸台的估计中心位置；根据若干个第二类凸台的估计中心位置，确定至少三条参考直线，任两条参考直线之间大体上相互平行或相交；根据确定的至少三条参考直线，确定晶圆上至少两条参考直径；根据若干个第一类凸台的估计中心位置对所述参考直径进行修正，得到晶圆上至少两条期望直径；根据晶圆上至少两条期望直径的连接点确定所述静电夹盘中心。相应的，还提供一种晶圆对中方法。本发明能够准确计算晶圆上静电夹盘的中心，提高机械臂校准的准确度。

今年以来中微公司新获得专利授权45个，较去年同期减少了10%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了24.75亿元，同比增74.61%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了29家企业，参与招投标项目76次；财产线索方面有商标信息109条，专利信息1661条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可77个。

数据来源：天眼查APP

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