中微公司获得实用新型专利授权：“下电极组件及等离子体处理设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“下电极组件及等离子体处理设备”，专利申请号为CN202520539349.6，授权日为2026年4月14日。

专利摘要：本实用新型提供一种下电极组件及等离子体处理设备。所述下电极组件包括：基座，其用于承载晶圆；聚焦环组件，设置于所述基座的边缘区域，所述聚焦环组件包括聚焦环和位于所述聚焦环下方的边缘电极；所述基座和所述边缘电极电连接射频电源；所述边缘电极靠近所述聚焦环的径向内侧设置，且所述边缘电极的轴向投影面积与所述聚焦环的轴向投影面积之比为10％～70％。本实用新型用于延长聚焦环的使用寿命。

今年以来中微公司新获得专利授权43个，较去年同期减少了14%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了24.75亿元，同比增74.61%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了29家企业，参与招投标项目76次；财产线索方面有商标信息109条，专利信息1661条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可77个。

数据来源：天眼查APP

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