中微公司获得发明专利授权：“一种涂层清洗方法及气体扩散装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种涂层清洗方法及气体扩散装置”，专利申请号为CN202310188005.0，授权日为2026年4月10日。

专利摘要：本发明公开了一种涂层清洗方法及气体扩散装置，涂层清洗方法包括：提供一待处理部件，所述待处理部件包括部件本体和覆盖于所述部件本体表面含钇或锆的耐腐蚀涂层；所述耐腐蚀涂层表面包括污染层，所述污染层中含有卤族元素；向所述污染层引入酸性气体或酸性蒸汽以与所述污染层发生反应；超声清洗、兆声清洗或者高压冲洗所述污染层，使所述污染层从所述耐腐蚀涂层表面脱落。控制气体的通入量和通入时间，能够使污染层被刚好被去除而不过多影响耐腐蚀涂层。

今年以来中微公司新获得专利授权42个，较去年同期减少了16%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了24.75亿元，同比增74.61%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了29家企业，参与招投标项目76次；财产线索方面有商标信息109条，专利信息1661条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可77个。

数据来源：天眼查APP

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