华海清科获得发明专利授权：“抛光头压力检测设备、方法和用于晶圆加工的抛光设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“抛光头压力检测设备、方法和用于晶圆加工的抛光设备”，专利申请号为CN202411426609.5，授权日为2026年4月10日。

专利摘要：本发明提出了抛光头压力检测设备、方法和用于晶圆加工的抛光设备。所述抛光头压力检测设备包括：底座，所述底座的底面适于将所述抛光头压力检测设备放置于抛光设备的抛光转台，在所述底座的上表面提供有在一个分度圆或多个同心分度圆上均匀分布的传感器预留槽，所述传感器预留槽中用于放置压力传感器；以及上盖板，所述上盖板叠置于所述底座的上表面，并且适于压紧均布在至少一个分度圆上的所述压力传感器，在进行抛光头压力检测时，使用所述抛光设备的抛光头向下压紧所述上盖板。本申请的技术方案能够有效、准确地检测检测抛光头压力，为抛光头压力调节提供了准确的指导，有利于抛光头压力的准确调节，进而提高抛光设备的抛光效果。

今年以来华海清科新获得专利授权19个，较去年同期增加了5.56%。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了2.44亿元，同比增42.92%。

通过天眼查大数据分析，华海清科股份有限公司共对外投资了11家企业，参与招投标项目260次；财产线索方面有商标信息91条，专利信息791条，著作权信息32条；此外企业还拥有行政许可31个。

数据来源：天眼查APP

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