中微公司获得发明专利授权：“一种化学气相沉积装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种化学气相沉积装置”，专利申请号为CN202510073813.1，授权日为2026年4月10日。

专利摘要：一种化学气相沉积装置，包括：反应腔，包括腔体侧壁和底壁；基座，位于所述反应腔内，所述基座包括基座侧壁，所述基座侧壁和腔体侧壁之间包括一排气区域；其特征在于，所述装置还包括：一限流环位于所述排气区域围绕所述基座侧壁，所述限流环底壁与腔体底壁之间存在一存储空间；所述限流环的侧壁或者底壁包括至少一开口用于使气流经过所述开口进入排气腔内；还包括至少一个排气管道固定在所述排气腔和反应腔底壁或侧壁之间，以支撑所述排气腔位于所述存储腔上方。

今年以来中微公司新获得专利授权42个，较去年同期减少了16%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了24.75亿元，同比增74.61%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了29家企业，参与招投标项目76次；财产线索方面有商标信息109条，专利信息1661条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可77个。

数据来源：天眼查APP

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