芯碁微装获得发明专利授权：“曝光系统的控制方法和曝光系统”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯碁微装（688630）新获得一项发明专利授权，专利名为“曝光系统的控制方法和曝光系统”，专利申请号为CN202310159619.6，授权日为2026年4月7日。

专利摘要：本发明公开了一种曝光系统的控制方法和曝光系统，所述曝光系统的控制方法包括：获取所述曝光系统的工作参数和所述曝光系统的感光材料的曝光剂量输入值；根据所述工作参数和所述曝光剂量输入值获得所述脉冲激光器单脉冲发射能量；获取所述运动平台的位置同步信号；根据所述位置同步信号和所述单脉冲发射能量控制所述脉冲激光器发射激光；根据所述位置同步信号控制所述空间光调制器的翻转状态。采用该方法可以通过控制脉冲激光器输出激光脉冲，从而解决了运动平台的扫描速度提升产生的横线线条过粗的问题，有效提升了曝光系统的产能，保证了曝光图形的正确性，并且由于采用脉冲激光器，提高了曝光图形的精度和激光器能量的利用率。

今年以来芯碁微装新获得专利授权18个，较去年同期增加了28.57%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了1.31亿元，同比增34.33%。

通过天眼查大数据分析，合肥芯碁微电子装备股份有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目177次；财产线索方面有商标信息35条，专利信息392条，著作权信息54条；此外企业还拥有行政许可29个。

数据来源：天眼查APP

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