西安奕材获得发明专利授权：“一种用于硅片边缘的清洗方法和装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示西安奕材（688783）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种用于硅片边缘的清洗方法和装置”，专利申请号为CN202211736863.6，授权日为2026年4月3日。

专利摘要：本发明实施例公开了一种用于硅片边缘的清洗方法和装置，所述清洗方法包括：通过清洗单元对硅片表面进行清洗；在清洗完成后，使用检测单元对所述硅片表面的边缘部分进行污染物检测，甄别所述硅片表面的边缘部分中污染物超标的再清洁区域，并获取所述再清洁区域的位置信息；控制单元依据所述位置信息控制所述清洗单元对所述硅片进行再次清洗；再次清洗结束后，所述检测单元对所述硅片表面进行污染物检测，确认所述硅片表面的边缘部分中不存在污染物超标的所述再清洁区域。通过对硅片表面的边缘部分进行针对性地清洗，确保硅片边缘的每一处位置都能够符合清洁程度的工艺要求。

今年以来西安奕材新获得专利授权18个。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了1.28亿元，同比减nan%。

通过天眼查大数据分析，西安奕斯伟材料科技股份有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目14次；财产线索方面有商标信息5条，专利信息1535条；此外企业还拥有行政许可24个。

数据来源：天眼查APP

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