芯碁微装获得发明专利授权：“应用于直写光刻机的纠偏对位方法及装置、介质和光刻机”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯碁微装（688630）新获得一项发明专利授权，专利名为“应用于直写光刻机的纠偏对位方法及装置、介质和光刻机”，专利申请号为CN202510148769.6，授权日为2026年4月3日。

专利摘要：本发明公开了一种应用于直写光刻机的纠偏对位方法及装置、介质和光刻机，其中，应用于直写光刻机的纠偏对位方法包括：在介质层有纠偏需求时，获得芯片层中各芯片对应介质层中芯片理论图案的分区刚性变换参数，分区刚性变换参数包括位移；基于各芯片对应介质层中芯片理论图案的位移获得迭代位移步长；基于迭代位移步长修正各芯片对应介质层中芯片理论图案的位置，直至介质层与芯片层满足第一条件，其中，在修正时介质层中芯片理论图案沿位移的向量方向移动，向量方向为从介质层上芯片理论图案的中心坐标到芯片层对应芯片的中心坐标的方向。本发明的方法提高了多芯片封装工艺中的对位精度，修正了因贴片误差导致的图案对位不精确的情况。

今年以来芯碁微装新获得专利授权17个，较去年同期增加了21.43%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了1.31亿元，同比增34.33%。

通过天眼查大数据分析，合肥芯碁微电子装备股份有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目177次；财产线索方面有商标信息35条，专利信息392条，著作权信息54条；此外企业还拥有行政许可29个。

数据来源：天眼查APP

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