西安奕材获得发明专利授权：“用于改善硅片表面平坦度的方法及系统”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示西安奕材（688783）新获得一项发明专利授权，专利名为“用于改善硅片表面平坦度的方法及系统”，专利申请号为CN202211582877.7，授权日为2026年4月3日。

专利摘要：本公开涉及用于改善硅片表面平坦度的方法及系统，该方法包括：检测硅片表面的平坦度以确定包括与该平坦度相关联的最低点的低凹区域的位置；使该表面被覆盖特定材料层并去除特定材料层的与该位置对应的部分；在覆盖有特定材料层的该表面上沉积含硅层，其中，含硅层的抛光去除速率小于单晶硅的抛光去除速率；去除特定材料层的其余部分；以及对已去除特定材料层的其余部分的硅片的该表面进行抛光。通过本公开的方法和系统，实现了对硅片表面平坦度的改善。

今年以来西安奕材新获得专利授权18个。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了1.28亿元，同比减nan%。

通过天眼查大数据分析，西安奕斯伟材料科技股份有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目14次；财产线索方面有商标信息5条，专利信息1535条；此外企业还拥有行政许可24个。

数据来源：天眼查APP

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