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中科飞测获得发明专利授权:“一种图像精准对位的方法、装置、设备及可读存储介质”

证券之星消息,根据天眼查APP数据显示中科飞测(688361)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种图像精准对位的方法、装置、设备及可读存储介质”,专利申请号为CN202511445925.1,授权日为2026年3月31日。

专利摘要:本申请公开了一种图像精准对位的方法、装置、设备及可读存储介质,可应用于半导体技术领域,该方法包括:获取待对位晶圆的实拍光学图像;确定与实拍光学图像对应的目标Kernel图像;基于预设对位数据库确定与目标Kernel图像对应的目标对位模板图;预设对位数据库基于设计版图构建;目标对位模板图是预设对位数据库中全部Target对位图中的一个;基于目标对位模板图确定目标Kernel图像对应的平移偏差值;基于平移偏差值补偿目标Kernel图像中的全部像素,实现图像对位。如此,通过引入预设对位数据库,将设计版图和图像对位数据库直接关联,提高了实拍图像与设计版图之间进行对位的准确性。

今年以来中科飞测新获得专利授权16个,较去年同期减少了11.11%。结合公司2025年中报财务数据,2025上半年公司在研发方面投入了2.85亿元,同比增37.79%。

通过天眼查大数据分析,深圳中科飞测科技股份有限公司共对外投资了12家企业,参与招投标项目273次;财产线索方面有商标信息360条,专利信息1068条,著作权信息39条;此外企业还拥有行政许可40个。

数据来源:天眼查APP

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