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有研硅获得实用新型专利授权:“一种薄片晶圆自动化剥离装置”

证券之星消息,根据天眼查APP数据显示有研硅(688432)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种薄片晶圆自动化剥离装置”,专利申请号为CN202520599238.4,授权日为2026年3月13日。

专利摘要:本实用新型公开了一种薄片晶圆自动化剥离装置,包括支架主体、平边刀头、羊角刀头,其中,支架主体依靠后置伸缩电缸作为动力源实现整体位移,平边刀头可拆卸地安装于设置在支架主体前端的前端固定板;支架主体内部配置有导向槽和内置伸缩电缸,内置伸缩电缸的活塞杆延伸至导向槽,并与设置于导向槽内的内置固定板形成联动机构;所述羊角刀头可拆卸地安装于该内置固定板;在支架主体底部开设有从支架主体前端延伸至后端的槽口,冲水喷头安装于支架主体前端槽口处并位于刀头下方;在支架主体后端槽口处设有用于连接水管的方形槽孔,在该槽孔配置有流量控制阀门。本实用新型能够解决薄片晶圆剥离过程中的损伤和碎裂问题,提高剥离效率和成品率。

今年以来有研硅新获得专利授权1个。结合公司2025年年报财务数据,2025年公司在研发方面投入了9241.43万元,同比增18.05%。

通过天眼查大数据分析,有研半导体硅材料股份公司共对外投资了6家企业,参与招投标项目66次;财产线索方面有专利信息344条;此外企业还拥有行政许可73个。

数据来源:天眼查APP

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