微导纳米获得实用新型专利授权：“薄膜沉积设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示微导纳米（688147）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“薄膜沉积设备”，专利申请号为CN202520324200.6，授权日为2026年3月27日。

专利摘要：本申请的实施例提供一种薄膜沉积设备，包括：腔体、抽气管路、等离子清洁组件。其中，腔体包括第一腔体和第二腔体；抽气管路包括第一抽气管路和第二抽气管路，第一抽气管路连接第一腔体，第二抽气管路连接第二腔体；等离子体清洁组件分别连接第一抽气管路和第二抽气管路，等离子体清洁组件用于清洁第一抽气管路和第二抽气管路。本申请提供的薄膜沉积设备，不仅使第一清洁管路和第二清洁管路距离抽气管路距离变短，并且使第一清洁管路和第二清洁管路与抽气管路笔直设置并在连接处倒圆角，减少了弯角和阻碍，缩短了等离子体到达控制阀的距离，从而可以更好的清理抽气管路。

今年以来微导纳米新获得专利授权22个，较去年同期增加了15.79%。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了1.33亿元，同比增9.88%。

通过天眼查大数据分析，江苏微导纳米科技股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目59次；财产线索方面有商标信息135条，专利信息587条，著作权信息20条；此外企业还拥有行政许可69个。

数据来源：天眼查APP

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