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至纯科技获得发明专利授权:“一种用于正反面翻转的晶圆抓取装置”

证券之星消息,根据天眼查APP数据显示至纯科技(603690)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种用于正反面翻转的晶圆抓取装置”,专利申请号为CN202211737072.5,授权日为2026年3月24日。

专利摘要:本发明提供一种用于正反面翻转的晶圆抓取装置,包括:第一卡爪组件,用于对晶圆进行夹持;第二卡爪组件,用于对晶圆进行夹持,第一卡爪组件和第二卡爪组件夹持晶圆的方向相反;翻转驱动组件,连接第一卡爪组件和第二卡爪组件,用于对第一卡爪组件和第二卡爪组件进行翻转。本发明的晶圆抓取装置上下两个卡爪组件都可可以抓取晶圆,通过翻转机构将晶圆放在对应的处理工位上,提高搬运效率。

今年以来至纯科技新获得专利授权2个,较去年同期减少了71.43%。结合公司2025年中报财务数据,2025上半年公司在研发方面投入了1.18亿元,同比增17.59%。

通过天眼查大数据分析,上海至纯洁净系统科技股份有限公司共对外投资了46家企业,参与招投标项目77次;财产线索方面有商标信息105条,专利信息322条,著作权信息32条;此外企业还拥有行政许可54个。

数据来源:天眼查APP

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