微导纳米获得实用新型专利授权：“晶圆缓存腔体和晶圆缓存装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示微导纳米（688147）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“晶圆缓存腔体和晶圆缓存装置”，专利申请号为CN202520575065.2，授权日为2026年3月24日。

专利摘要：一种晶圆缓存腔体和晶圆缓存装置。晶圆缓存腔体包括：腔本体，腔本体内设置有晶圆支撑组件，晶圆支撑组件包括多个支撑片，用于在晶圆的边缘区域共同支撑所述晶圆；以及盖板，密封设置在腔本体上方，盖板上设置有透明观察窗，透明观察窗与部分或全部支撑片一一对应设置。根据上述方案，可以从透明观察窗方便地观察到晶圆缓存腔体内部的晶圆状态和位置，既可以实时地了解到晶圆的状态，也可以在真空机械手取放晶圆的时候避免偏置晶圆甚至损坏晶圆。

今年以来微导纳米新获得专利授权21个，较去年同期增加了10.53%。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了1.33亿元，同比增9.88%。

通过天眼查大数据分析，江苏微导纳米科技股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目59次；财产线索方面有商标信息135条，专利信息587条，著作权信息20条；此外企业还拥有行政许可69个。

数据来源：天眼查APP

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