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中科飞测公布国际专利申请：“晶圆缺陷检测装置及方法”

来源：证券之星企业动态 2026-03-21 05:54:26

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证券之星消息，根据企查查数据显示中科飞测（688361）公布了一项国际专利申请，专利名为“晶圆缺陷检测装置及方法”，专利申请号为PCT/CN2025/129270，国际公布日为2026年3月19日。

专利详情如下：

图片来源：世界知识产权组织（WIPO）

今年以来中科飞测已公布的国际专利申请1个，与去年同期持平。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了2.85亿元，同比增37.79%。

数据来源：企查查

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