中微公司获得发明专利授权：“一种柔性安装连接结构及相应的等离子体处理器”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种柔性安装连接结构及相应的等离子体处理器”，专利申请号为CN202111571461.0，授权日为2026年3月20日。

专利摘要：本发明公开了一种柔性安装连接结构，用于连接具有不同热膨胀系数的第一板体和第二板体，所述柔性安装连接结构设置有热应力释放部，所述热应力释放部为能够产生形变的结构，用于通过形变消除或减小在温度变化时因所述第一板体与第二板体不同的热膨胀系数而产生的热应力，防止所述热应力损坏所述第一板体和第二板体。本发明还公开了一种等离子体处理器，采用了上述的柔性安装连接结构。本发明通过柔性安装连接结构的弹性变形来补偿不同材料的安装基板与气体喷淋头板之间热膨胀量差值，从而保护气体喷淋头板、安装基板不会因热应力而破坏，并且具有大位移变形量，可应用于高温刻蚀工艺。

今年以来中微公司新获得专利授权34个，较去年同期减少了8.11%。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了11.16亿元，同比增96.65%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了29家企业，参与招投标项目76次；财产线索方面有商标信息109条，专利信息1606条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可77个。

数据来源：天眼查APP

以上内容为证券之星据公开信息整理，由AI算法生成（网信算备310104345710301240019号），不构成投资建议。