中微公司获得发明专利授权：“安装底座、喷淋头组件、控温方法及等离子体处理装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“安装底座、喷淋头组件、控温方法及等离子体处理装置”，专利申请号为CN202111341250.8，授权日为2026年3月17日。

专利摘要：本发明提供一种安装底座、喷淋头组件、控温方法及等离子体处理装置。所述安装底座应用于一喷淋头组件，所述喷淋头组件还包括加热器和喷淋头，所述加热器用于对所述喷淋头进行加热，所述安装底座设有流通冷却液的冷却通道，用于对所述喷淋头进行降温，其特征在于，所述安装底座还包括：控温通道，设置于所述冷却通道与所述喷淋头之间的冷却路径上，用于调节所述喷淋头的降温效率。本发明能够实现在高偏置功率时提高冷却效率、低偏置功率时降低冷却效率，改善喷淋头温度可控性、降低加热器功率输出及延长加热器的使用寿命。

今年以来中微公司新获得专利授权31个，较去年同期减少了16.22%。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了11.16亿元，同比增96.65%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了29家企业，参与招投标项目76次；财产线索方面有商标信息109条，专利信息1664条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可77个。

数据来源：天眼查APP

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