中微公司获得发明专利授权：“一种等离子体处理设备及其安装维护方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种等离子体处理设备及其安装维护方法”，专利申请号为CN202310410244.6，授权日为2026年3月17日。

专利摘要：本发明公开一种等离子体处理设备及安装维护方法，等离子体处理设备包括：反应腔，包括第一腔体；顶盖，设置于第一腔体顶部；第二腔体，设置于第一腔体内；第一腔体底部设有抽气口，第一腔体侧面设有第一开口，第二腔体侧面设有第二开口，第二开口和第一开口通过连接管连通形成通道；基座，设置于第一腔体内，用于承载晶圆；基座与第二腔体之间设有可伸缩的密封部件；屏蔽板，设置于第二腔体内，用于将第二腔体分隔为第一容纳空间和第二容纳空间；第一容纳空间靠近基座，以容置与基座连接的射频导杆；升降机构，设置于第二容纳空间内，贯穿屏蔽板与基座连接，用于支撑基座并带动基座上下移动。本发明能够保证基座稳定升降及腔内气体压力分布均匀。

今年以来中微公司新获得专利授权31个，较去年同期减少了16.22%。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了11.16亿元，同比增96.65%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了29家企业，参与招投标项目76次；财产线索方面有商标信息109条，专利信息1664条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可77个。

数据来源：天眼查APP

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