中微公司获得发明专利授权：“一种等离子体处置装置用构件的翻新装置及翻新方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种等离子体处置装置用构件的翻新装置及翻新方法”，专利申请号为CN202110871391.4，授权日为2026年3月17日。

专利摘要：本发明公开了一种等离子体处置装置用构件的翻新装置及翻新方法，所述构件为待翻新构件，该待翻新构件包括构件本体、覆盖在构件本体上的耐腐蚀涂层及覆盖在所述耐腐蚀涂层上的氟化层，该翻新装置包含：加热组件，用于对待翻新构件进行加热，使氟化层升华而所述耐腐蚀涂层保持原状以形成翻新构件。本发明通过控制加热区域，只对待去除的氟化层快速加热，利用氟化层与耐腐蚀涂层本体的物理特性差异去除氟化层，使翻新后的耐腐蚀涂层不含有氟化层，同时由于耐腐蚀涂层及构件本体所承受的温度并不高，不会破坏耐腐蚀涂层和构件本体，使得翻新的耐腐蚀涂层表面回到原始状态，即，耐腐蚀涂层表面接近新品状态，使得构件可以继续使用，大大降低运行成本。

今年以来中微公司新获得专利授权31个，较去年同期减少了16.22%。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了11.16亿元，同比增96.65%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了29家企业，参与招投标项目76次；财产线索方面有商标信息109条，专利信息1664条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可77个。

数据来源：天眼查APP

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