中微公司获得发明专利授权：“一种等离子体处理设备、检测装置及其运行方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种等离子体处理设备、检测装置及其运行方法”，专利申请号为CN202110711147.1，授权日为2026年3月17日。

专利摘要：本发明公开了一种等离子体处理设备、检测装置及其运行方法，其包括消耗环和探测模块，所述消耗环包括第一材料和第二材料，所述第一材料具有第一颜色，所述第二材料具有不同于第一颜色的第二颜色。所述探测模块可拆卸地与机械手连接，所述探测模块包括颜色传感器模块，所述颜色传感器模块用于检测所述消耗环颜色的变化，该方法检测简单准确，且不会给腔体带来污染。

今年以来中微公司新获得专利授权31个，较去年同期减少了16.22%。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了11.16亿元，同比增96.65%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了29家企业，参与招投标项目76次；财产线索方面有商标信息109条，专利信息1664条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可77个。

数据来源：天眼查APP

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