中微公司获得发明专利授权：“一种半导体处理设备及其多区加热板和多区温控驱动方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种半导体处理设备及其多区加热板和多区温控驱动方法”，专利申请号为CN202411825844.X，授权日为2026年3月17日。

专利摘要：一种半导体处理设备及其多区加热板和多区温控驱动方法，通过设置限流元件来连通位于半导体处理设备的多区加热板中的不同加热区内的加热片，每个加热片均会经历主动加热操作和被动加热操作，每个加热片均会被施加一次主动加热功率和至少一次被动加热功率，通过控制加热片上的主动加热功率的比例和被动加热功率的比例，令施加到同一个加热片上的主动加热功率与所有的被动加热功率的总和等于所述加热片的预定加热功率，最终实现对每个加热片的独立温度控制，大幅降低最大瞬时加热电流，减少每个加热片的瞬时发热功率和电流，加热片不易因频繁快速加热和降温而导致材料开裂，也降低了相应开关的功率和电流等级。

今年以来中微公司新获得专利授权31个，较去年同期减少了16.22%。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了11.16亿元，同比增96.65%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了29家企业，参与招投标项目76次；财产线索方面有商标信息109条，专利信息1664条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可77个。

数据来源：天眼查APP

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