芯碁微装获得发明专利授权：“一种LDI直写曝光机的能量格测试方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯碁微装（688630）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种LDI直写曝光机的能量格测试方法”，专利申请号为CN202310267442.1，授权日为2026年3月17日。

专利摘要：本发明公开了一种LDI直写曝光机的能量格测试方法，包括步骤S1、获取基板样本，并进行预处理；步骤S2、将油墨涂覆在经过预处理后的基板上进行烘烤固化，再将基板放置在曝光机吸盘垫预设位置处；步骤S3、基于图形像素预设比例得到能量测试图形，并利用曝光机对其进行曝光处理；步骤S4、对曝光处理后得到的能量测试图形进行显影读取，得到能量测试图形的能量格。本发明通过激光束将能量测试图形直接通过空间光调制器扫描成像至感光油墨上，显影后读取图形的能量格，解决现有技术中曝光尺寿命有限，需定期更换，成本较高的问题。同时曝光尺折旧会降低准确度，同时红外功能易导致曝光尺高热，引发起火等风险。

今年以来芯碁微装新获得专利授权15个，较去年同期增加了7.14%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了1.31亿元，同比增34.33%。

通过天眼查大数据分析，合肥芯碁微电子装备股份有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目166次；财产线索方面有商标信息35条，专利信息390条，著作权信息54条；此外企业还拥有行政许可26个。

数据来源：天眼查APP

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