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光迅科技获得发明专利授权:“一种半导体激光器晶圆扩晶机及其使用方法”

证券之星消息,根据天眼查APP数据显示光迅科技(002281)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种半导体激光器晶圆扩晶机及其使用方法”,专利申请号为CN202210519907.3,授权日为2026年3月10日。

专利摘要:本发公开了一种半导体激光器晶圆扩晶机及其使用方法。其中扩晶机包括扩晶机主体、固定支架和机械手臂,机械手臂通过固定支架可上下移动的设置在扩晶机主体上;机械手臂内设置有摄像头模组,所述摄像头模组通过机械手臂移动至第一预设位置,以便监测晶圆表面芯单元与扩晶膜的贴合效果;所述扩晶机主体内设置有可上下移动的加热阵列模块,加热阵列模块移动至与扩晶膜贴合,以便于选择性对扩晶膜的未贴合部位进行加热,实现晶圆芯单元与扩晶膜完全贴合。本发明利用摄像头模组观测扩晶膜与芯单元之间的贴合情况,通过扩晶机主体内设置的加热阵列模块对未有效贴合部位进行加热,使扩晶过程晶圆芯单元与扩晶膜完全贴合,保障所形成的新晶圆盘的性能。

今年以来光迅科技新获得专利授权30个,较去年同期增加了114.29%。结合公司2025年中报财务数据,2025上半年公司在研发方面投入了4.46亿元,同比增42.91%。

通过天眼查大数据分析,武汉光迅科技股份有限公司共对外投资了8家企业,参与招投标项目2387次;财产线索方面有商标信息7条,专利信息1879条,著作权信息121条;此外企业还拥有行政许可93个。

数据来源:天眼查APP

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