芯碁微装获得实用新型专利授权：“基于偏转镜实现光束分束及调控的激光并行加工设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯碁微装（688630）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“基于偏转镜实现光束分束及调控的激光并行加工设备”，专利申请号为CN202520083435.0，授权日为2026年2月24日。

专利摘要：本实用新型涉及基于偏转镜实现光束分束及调控的激光并行加工设备，包括激光发生装置，偏转镜，接收来自激光发生装置的激光并将其偏转为若干个方向不同的子光路；镜头，设置于子光路末端，用于将激光照射至待加工表面。本发明的激光并行加工设备通过在激光光路中增加偏转镜实现了将激光光束分束为若干个子光束的效果。该方案实现了激光能量复用和提高设备的加工效率的目的，能够充分利用激光光源的性能，提升能量利用率。

今年以来芯碁微装新获得专利授权12个，与去年同期持平。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了6095.32万元，同比增24.56%。

通过天眼查大数据分析，合肥芯碁微电子装备股份有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目165次；财产线索方面有商标信息35条，专利信息390条，著作权信息54条；此外企业还拥有行政许可26个。

数据来源：天眼查APP

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