京仪装备获得发明专利授权：“半导体工业废气处理方法及系统”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示京仪装备（688652）新获得一项发明专利授权，专利名为“半导体工业废气处理方法及系统”，专利申请号为CN202511785798.X，授权日为2026年3月3日。

专利摘要：本申请涉及废气处理技术领域，提供一种半导体工业废气处理方法及系统。所述方法包括：控制脱氧反应单元对半导体工业废气进行脱氧处理；控制气体浓度检测单元对脱氧后的废气进行氧气浓度检测；在氧气浓度小于第一浓度阈值的情况下，控制等离子反应器对脱氧废气进行等离子处理；对脱氧反应单元中脱氧剂的剩余使用寿命进行预测，在剩余使用寿命小于寿命阈值的情况下，对脱氧剂进行更换或再生。本申请利用前置脱氧，从源头抑制氮氧化物生成，利用脱氧剂剩余使用寿命预测，及时更换或再生脱氧剂，具备可持续性、不会影响半导体高精度设备的运转和产品的良率，且无需考虑对氮氧化物进行催化分解的效率以及高热分解的能耗。

今年以来京仪装备新获得专利授权16个，较去年同期增加了100%。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了7240.02万元，同比增61.93%。

通过天眼查大数据分析，北京京仪自动化装备技术股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目104次；财产线索方面有商标信息50条，专利信息547条，著作权信息63条；此外企业还拥有行政许可12个。

数据来源：天眼查APP

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