芯碁微装获得发明专利授权：“用于曝光设备的调节结构和曝光设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯碁微装（688630）新获得一项发明专利授权，专利名为“用于曝光设备的调节结构和曝光设备”，专利申请号为CN202211385650.3，授权日为2026年2月27日。

专利摘要：本发明公开了一种用于曝光设备的调节结构和曝光设备，其中，用于曝光设备的调节结构包括固定板、调节板、第一锁止件、固定座和第二锁止件，固定板适于与曝光设备的光刻图案结构连接；调节板通过平面调节件与固定板可运动地连接，平面调节件通过调节固定板与调节板的相对位置，以调整光刻图案结构的平面度；第一锁止件分别与固定板和调节板连接，控制固定板和调节板的相对位置是否固定；调节板通过角度调节件与固定座可转动地连接，角度调节件通过调节调节板和固定座之间的夹角，以调节光刻图案结构的角度；第二锁止件分别与固定座和调节板连接，控制固定座和调节板的相对位置是否固定。本发明的调节结构，装置成本低、调试简单、调试效率高。

今年以来芯碁微装新获得专利授权12个，较去年同期增加了20%。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了6095.32万元，同比增24.56%。

通过天眼查大数据分析，合肥芯碁微电子装备股份有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目161次；财产线索方面有商标信息35条，专利信息390条，著作权信息54条；此外企业还拥有行政许可26个。

数据来源：天眼查APP

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