芯碁微装获得发明专利授权：“料带支撑装置、双面卷对卷曝光机及曝光方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯碁微装（688630）新获得一项发明专利授权，专利名为“料带支撑装置、双面卷对卷曝光机及曝光方法”，专利申请号为CN202310007185.8，授权日为2026年2月24日。

专利摘要：本发明提供一种料带支撑装置、双面卷对卷曝光机及曝光方法，包括机架，该机架沿长度方向上下布置有第一水平导轨和第二水平导轨；设置在机架中部的第一吸附组件，该第一吸附组件能够沿着第一水平导轨的行程移动并对基材进行吸附；设置在机架中部的第二吸附组件，该第二吸附组件能够沿着第二水平导轨的行程移动并对基材进行吸附；以及设置在机架长度方向两端的端部夹紧机构，该端部夹紧机构对基材的放料端和收料端分别进行夹紧。通过在基材悬空的中间部位设置起支撑作用的吸附组件，还能够对基材进行吸附，并且在基材两端设置端部夹紧机构，从而使得在曝光过程中基材被有效限位，避免在曝光过程中卷式基材由于精密运动平台的运动而产生振动和位移。

今年以来芯碁微装新获得专利授权11个，较去年同期增加了10%。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了6095.32万元，同比增24.56%。

通过天眼查大数据分析，合肥芯碁微电子装备股份有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目161次；财产线索方面有商标信息35条，专利信息388条，著作权信息54条；此外企业还拥有行政许可26个。

数据来源：天眼查APP

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