中科飞测获得发明专利授权：“一种晶圆边缘缺陷检测光学系统及方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中科飞测（688361）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种晶圆边缘缺陷检测光学系统及方法”，专利申请号为CN202511599209.9，授权日为2026年2月24日。

专利摘要：本申请提供的一种晶圆边缘缺陷检测光学系统及方法，通过设置于信号光被接收至成像单元的光路中的成像数值孔径调节装置根据待检测晶圆边缘上的感兴趣区域调整成像数值孔径，以实现成像景深的调整，该技术方案通过引入可调节的孔径装置，通过孔径装置控制成像数值孔径，利用成像数值孔径主要决定极限分辨率与景深的物理原理，将传统光学系统中固定的数值孔径变为一个可动态优化的变量，通过简单的机械调节实现了复杂的性能切换，可以根据检测要求实现高分辨率检测或者大景深扫描，增强光学系统的应用范围和适应性。

今年以来中科飞测新获得专利授权5个，与去年同期持平。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了2.85亿元，同比增37.79%。

通过天眼查大数据分析，深圳中科飞测科技股份有限公司共对外投资了12家企业，参与招投标项目273次；财产线索方面有商标信息359条，专利信息1088条，著作权信息39条；此外企业还拥有行政许可40个。

数据来源：天眼查APP

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