微导纳米获得实用新型专利授权：“喷淋装置及沉积设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示微导纳米（688147）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“喷淋装置及沉积设备”，专利申请号为CN202520594742.5，授权日为2026年2月17日。

专利摘要：本实用新型提供了一种喷淋装置及沉积设备，包括：喷淋腔体，内部中空且底部间隔地设有若干个喷淋孔；分隔板，设于喷淋腔体内且将喷淋腔体内的空间分隔为上层空间和下层空间，分隔板底面间隔地设有若干个导流件，导流件穿过下层空间并伸入对应的喷淋孔内，导流件与喷淋孔的孔壁之间形成有狭缝，狭缝与下层空间连通；通道，穿过分隔板和导流件，通道与上层空间连通。本实用新型中下层空间内的工艺气体可以通过导流件与喷淋孔的孔壁之间的狭缝进入反应腔室，上层空间内的工艺气体可以通过通道进入喷淋孔，再进入反应腔室。单个喷淋孔能够同时作为上层空间和下层空间内工艺气体的流通通道，通过优化工艺气体的流通路径，避免影响沉积的速率和均匀性。

今年以来微导纳米新获得专利授权15个，较去年同期增加了25%。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了1.33亿元，同比增9.88%。

通过天眼查大数据分析，江苏微导纳米科技股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目57次；财产线索方面有商标信息121条，专利信息592条，著作权信息20条；此外企业还拥有行政许可69个。

数据来源：天眼查APP

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