芯碁微装获得实用新型专利授权：“运动曝光工作台及具有其的曝光系统”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯碁微装（688630）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“运动曝光工作台及具有其的曝光系统”，专利申请号为CN202520160598.4，授权日为2026年2月13日。

专利摘要：本实用新型公开了一种运动曝光工作台及具有其的曝光系统，运动曝光工作台包括安装座、升降组件、第一运动组件、第二运动组件和曝光组件，第二运动组件设于第一运动组件，第二运动组件的沿第二方向移动，第一方向和第二方向均在水平方向内，且第一方向与第二方向相互垂直；其中，第二运动组件上还设有传感器，传感器用于检测基板位置。通过设有传感器以检测基板位置，以根据基板位置以去驱动第一运动组件和第二运动组件调整曝光组件的位置，以让曝光组件能够更好地将曝光效果作用到基板上，从而让曝光组件能够按照设计将曝光效果作用到基板上以进行曝光，且在使用过程中可以根据生产过程进行调整，以让曝光组件的使用具有更高的精度。

今年以来芯碁微装新获得专利授权7个，较去年同期增加了16.67%。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了6095.32万元，同比增24.56%。

通过天眼查大数据分析，合肥芯碁微电子装备股份有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目161次；财产线索方面有商标信息35条，专利信息387条，著作权信息54条；此外企业还拥有行政许可26个。

数据来源：天眼查APP

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