中微公司获得发明专利授权：“一种等离子体处理装置及处理方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种等离子体处理装置及处理方法”，专利申请号为CN202110747723.8，授权日为2026年2月10日。

专利摘要：本发明提供一种等离子体处理装置，包括一真空反应腔，所述真空反应腔内设置一导电基座；一主射频传输棒，与至少一射频电源电连接，用于将第一射频信号施加至所述导电基座；环绕所述基座设置边缘环；边缘环下方设置一边缘射频传输线，所述边缘射频传输线通过一阻抗调节模块将第二射频信号施加至所述边缘环，所述阻抗调节模块，位于所述导电基座下方的大气环境，包括至少一耐高压可调电容组件；所述边缘射频传输线位于所述真空反应腔内部的部分套设有介电套筒；主射频传输棒包括空心结构，所述边缘射频传输线至少部分地位于所述主射频传输棒内部。本发明的边缘射频调节机制可以主动调节边缘环上方的鞘层高度，且能适应较高电压的射频环境。

今年以来中微公司新获得专利授权20个，较去年同期增加了100%。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了11.16亿元，同比增96.65%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了30家企业，参与招投标项目78次；财产线索方面有商标信息108条，专利信息1645条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可77个。

数据来源：天眼查APP

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