万华化学获得发明专利授权：“一种硅晶圆化学机械抛光液、制备方法及其应用”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示万华化学（600309）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种硅晶圆化学机械抛光液、制备方法及其应用”，专利申请号为CN202310729630.1，授权日为2026年2月10日。

专利摘要：本发明提供一种硅晶圆化学机械抛光液、使用方法及其应用，其质量百分数组成包括10％～30％的高纯硅溶胶、0.1％～0.5％的pH调节剂、0.1％～1％的乙烯基吡咯烷酮?季铵盐共聚物，余量为水。本发明的抛光液稀释20～39倍可应用于硅晶圆中抛光，抛光后晶圆表面无亲水性，可修复表面微划伤；抛光液稀释1～19倍可应用于硅晶圆精抛光，抛光后晶圆表面强亲水性，避免磨料粒子与空气杂质的沾污，从而获得低表面缺陷。

今年以来万华化学新获得专利授权53个，较去年同期增加了39.47%。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了22.91亿元，同比增10.1%。

通过天眼查大数据分析，万华化学集团股份有限公司共对外投资了80家企业，参与招投标项目5296次；财产线索方面有商标信息288条，专利信息6583条，著作权信息72条；此外企业还拥有行政许可1001个。

数据来源：天眼查APP

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