华海清科获得实用新型专利授权：“化学机械抛光设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“化学机械抛光设备”，专利申请号为CN202520163160.1，授权日为2026年2月6日。

专利摘要：本申请公开一种化学机械抛光设备，包括：支撑结构和限位组件，支撑结构设置在修整器所在的晶圆加工腔室的腔壁上，限位组件设置在修整器包括的支撑部与修整器包括的摆臂之间；限位组件，用于当摆臂以支撑部所在的位置为圆心旋转至极限位置时，与支撑结构接触，以对摆臂进行限位，其中，极限位置用于指示摆臂的远端与腔壁的距离小于距离阈值时，摆臂相对于初始位置旋转的角度。本申请通过设置支撑结构和限位组件，能够对转动至极限位置的摆臂进行限位，因此即使电机飞车转速突然失控等情况发生，摆臂也不会转动超过极限位置，进而避免摆臂撞击机台内部结构。

今年以来华海清科新获得专利授权2个，较去年同期减少了66.67%。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了2.44亿元，同比增42.92%。

通过天眼查大数据分析，华海清科股份有限公司共对外投资了11家企业，参与招投标项目256次；财产线索方面有商标信息89条，专利信息792条，著作权信息32条；此外企业还拥有行政许可31个。

数据来源：天眼查APP

以上内容为证券之星据公开信息整理，由AI算法生成（网信算备310104345710301240019号），不构成投资建议。