微导纳米获得实用新型专利授权：“一种进气装置及半导体设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示微导纳米（688147）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种进气装置及半导体设备”，专利申请号为CN202520524152.5，授权日为2026年1月30日。

专利摘要：本实用新型公开的进气装置和半导体设备，进气装置包括进气件和匀气件，进气件上至少设置有两个进气通道，进气件与匀气件层叠设置，匀气件上设置有与各个进气通道连通的匀气腔，各个匀气腔的底部均设置有若干与匀气腔连通的匀气孔。本实用新型公开的进气装置，使得至少两种工艺气体能够隔离输送，防止不同的工艺气体在进气装置中因混合发生化学反应，能够减少在进气装置中产生颗粒；匀气孔的设置增大了气体反向流动阻力，减小了不同的工艺气体发生反流的可能，能够提高镀膜的均匀性。

今年以来微导纳米新获得专利授权11个，较去年同期增加了22.22%。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了1.33亿元，同比增9.88%。

通过天眼查大数据分析，江苏微导纳米科技股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目54次；财产线索方面有商标信息120条，专利信息585条，著作权信息20条；此外企业还拥有行政许可69个。

数据来源：天眼查APP

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