芯源微获得实用新型专利授权：“基板边缘检测设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯源微（688037）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“基板边缘检测设备”，专利申请号为CN202520160773.X，授权日为2026年1月30日。

专利摘要：本实用新型提供了基板边缘检测设备，涉及半导体加工技术领域。包括基台以及设置在所述基台上的承载组件、照明单元、反射镜单元和拍摄单元；所述承载组件用于放置基板，并带动所述基板运行；所述照明单元靠近所述承载组件设置，所述照明单元用于照明所述基板；所述反射镜单元靠近所述照明单元设置，所述反射镜单元用于将所述基板上的光线反射至所述拍摄单元；所述拍摄单元对应所述反射镜单元设置，所述拍摄单元用于对所述基板进行光学成像。本实用新型中的反射镜为全反射镜，光线通过反射镜只进行一次反射，能够提升反射镜单元对光源的利用率，避免了能源的浪费。

今年以来芯源微新获得专利授权5个，与去年同期持平。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了1.32亿元，同比增12.87%。

通过天眼查大数据分析，沈阳芯源微电子设备股份有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目328次；财产线索方面有商标信息49条，专利信息655条，著作权信息98条；此外企业还拥有行政许可67个。

数据来源：天眼查APP

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