盛美上海获得发明专利授权：“供液装置、清洗装置、清洗方法及计算机可读介质”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示盛美上海（688082）新获得一项发明专利授权，专利名为“供液装置、清洗装置、清洗方法及计算机可读介质”，专利申请号为CN202511292108.7，授权日为2026年1月27日。

专利摘要：本申请公开了一种供液装置、清洗装置、清洗方法及计算机可读介质，供液装置包括喷嘴、防溅罩、吸收组件和冲洗管路，喷嘴用于向基板的表面供应处理液；防溅罩设置于喷嘴的外周，防溅罩具有抽吸口；吸收组件包括吸收通道和抽吸装置，吸收通道用于通过抽吸口与防溅罩的内侧连通，抽吸装置用于通过吸收通道抽吸防溅罩的内侧的气体；以及冲洗管路与吸收通道连接，用于向吸收通道通入冲洗液，以冲洗吸收通道。本申请能够将吸收通道内的结晶等冲洗干净，避免影响吸收通道的吸收效果，以及避免结晶掉落至基板的表面造成污染。

今年以来盛美上海新获得专利授权3个。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了4.16亿元，同比增20.17%。

通过天眼查大数据分析，盛美半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了16家企业，参与招投标项目172次；财产线索方面有商标信息39条，专利信息669条；此外企业还拥有行政许可31个。

数据来源：天眼查APP

以上内容为证券之星据公开信息整理，由AI算法生成（网信算备310104345710301240019号），不构成投资建议。