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拉普拉斯获得发明专利授权:“净化台、净化台使用方法及半导体设备”

证券之星消息,根据天眼查APP数据显示拉普拉斯(688726)新获得一项发明专利授权,专利名为“净化台、净化台使用方法及半导体设备”,专利申请号为CN202211394284.8,授权日为2026年1月23日。

专利摘要:本发明公开了一种净化台、净化台使用方法和半导体设备。该净化台内部沿进舟方向分为热排区、降温区和主动进气区,在热排区顶部设置热排口,在降温区设置排风口和排风风机,通过热排口和排风口排出高温气体、腐蚀性气体等有害气体,形成逐渐排热、分区保护的结构,能够快速有效地排出跟随石英舟以及硅片进入净化台内的高温气体和腐蚀性气体等有害气体,同时能够大大降低有害气体的温度和浓度,防止硅片被污染,减少有害气体造成的热损伤和化学损伤。该净化台使用方法能根据气压值调整净化台的送风风机和排风风机的转速,既能够满足散热需要,也能够避免因气流速度过快而使硅片抖动受损。

今年以来拉普拉斯新获得专利授权8个,较去年同期增加了100%。结合公司2025年中报财务数据,2025上半年公司在研发方面投入了1.61亿元,同比减6.51%。

通过天眼查大数据分析,拉普拉斯新能源科技股份有限公司共对外投资了10家企业,参与招投标项目65次;财产线索方面有商标信息144条,专利信息756条,著作权信息10条;此外企业还拥有行政许可58个。

数据来源:天眼查APP

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