芯源微获得实用新型专利授权：“背洗单元和涂胶显影装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯源微（688037）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“背洗单元和涂胶显影装置”，专利申请号为CN202423028667.0，授权日为2026年1月23日。

专利摘要：本实用新型涉及涂胶显影领域，提供一种背洗单元和涂胶显影装置，该背洗单元，包括：刷头、旋转托盘、移动托盘与支架；刷头用于相对于支架移动，具有位于支架内的第一工位和位于支架外的第二工位；支架具有朝向旋转托盘向外的第一开口，和朝向刷头的第二开口；支架用于支撑旋转托盘；旋转托盘固定于支架内侧或顶侧；当旋转托盘处于工作状态时，用于带动晶圆相对于刷头旋转，以清洗晶圆的背面的第一区域；移动托盘位于支架的顶侧，用于吸附晶圆的背面的边缘区域；刷头处于运动状态时，用于相对于晶圆运动，以清洗晶圆的背面的第二区域。该背洗单元用于提升晶圆背面的清洁度和光滑度。

今年以来芯源微新获得专利授权3个，与去年同期持平。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了1.32亿元，同比增12.87%。

通过天眼查大数据分析，沈阳芯源微电子设备股份有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目328次；财产线索方面有商标信息49条，专利信息655条，著作权信息98条；此外企业还拥有行政许可67个。

数据来源：天眼查APP

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