芯源微获得发明专利授权：“基板处理系统”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯源微（688037）新获得一项发明专利授权，专利名为“基板处理系统”，专利申请号为CN202011589962.7，授权日为2026年1月23日。

专利摘要：本发明提供了一种基板处理系统，包括装载单元、过渡单元、工艺单元、至少一个第一传送单元、至少一个第一位置检测单元、至少一个第二传送单元以及至少一个第二位置检测单元。所述基板处理系统中，包括第一位置检测单元和第二位置检测单元，从而保证了同一所述第一传送单元中的机械臂部分或全部同步运动，也保证了同一所述第二传送单元中的机械臂部分或全部同步运动，从而能够保证同时在所述装载单元和过渡单元之间，以及所述过渡单元和所述工艺单元之间同时搬运多个基板，提高了基板的处理效率。

今年以来芯源微新获得专利授权3个，与去年同期持平。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了1.32亿元，同比增12.87%。

通过天眼查大数据分析，沈阳芯源微电子设备股份有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目328次；财产线索方面有商标信息49条，专利信息655条，著作权信息98条；此外企业还拥有行政许可67个。

数据来源：天眼查APP

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