芯碁微装获得实用新型专利授权：“一种双台面曝光机”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯碁微装（688630）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种双台面曝光机”，专利申请号为CN202520171673.7，授权日为2026年1月13日。

专利摘要：本实用新型公开了一种双台面曝光机，涉及曝光机技术领域。具体包括平台、载台件、曝光模块以及对准模块，平台包括曝光区域和分布在曝光区域两侧的转换区域；载台件至少包括设置在对应转换区域的两个载台，载台能够从对应转换区域和曝光区域往复移动；曝光模块设置在曝光区域，其用于对移动至曝光区域的载台上的晶圆曝光；对准模块设置在转换区域，其用于对位载台上的晶圆。两侧载台上的晶圆能够在上下料、对位和曝光操作之间无缝切换，充分发挥了双台面设计的优势，显著提升了整体工作效率，无需对载台上的晶圆进行高度调整，根本上保证晶圆的曝光精度。

今年以来芯碁微装新获得专利授权5个，较去年同期增加了150%。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了6095.32万元，同比增24.56%。

通过天眼查大数据分析，合肥芯碁微电子装备股份有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目160次；财产线索方面有商标信息35条，专利信息387条，著作权信息54条；此外企业还拥有行政许可26个。

数据来源：天眼查APP

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