中微公司获得发明专利授权：“一种衬底支撑装置及衬底处理设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种衬底支撑装置及衬底处理设备”，专利申请号为CN202111459188.2，授权日为2026年1月13日。

专利摘要：本发明提供一种衬底支撑装置，包含：托盘,设置于衬底处理设备的反应腔内，用于支撑衬底；托盘底面设有第一限位部；衬套,其具有筒形结构，所述衬套设置在托盘下方并为托盘提供支撑，衬套侧壁设有与所述第一限位部位置对应的第二限位部，通过第一限位部与对应的所述第二限位部配合，限制衬套与托盘旋转时二者在水平方向的相对移动。本发明还提供一种衬底处理设备。通过本发明能够保证托盘与衬套同步旋转，使得托盘均匀受热，保证衬底表面温度的均匀性。

今年以来中微公司新获得专利授权15个，较去年同期增加了50%。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了11.16亿元，同比增96.65%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了30家企业，参与招投标项目75次；财产线索方面有商标信息108条，专利信息1644条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可77个。

数据来源：天眼查APP

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