芯源微获得实用新型专利授权：“一种具有缓冲保护的晶圆抓取装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯源微（688037）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种具有缓冲保护的晶圆抓取装置”，专利申请号为CN202520001007.9，授权日为2026年1月13日。

专利摘要：本实用新型属于半导体设备技术领域，具体地说是一种具有缓冲保护的晶圆抓取装置，包括外壳体、驱动件、固定手指、活动手指组件，活动手指组件包括转接基座、活动手指主体、导向杆、缓冲弹簧、限位螺钉。本实用新型通过转接基座、活动手指主体、导向杆、缓冲弹簧、限位螺钉的配合设置结构，可在活动手指主体向前直线运动并夹持抓取晶圆时起到一定的缓冲作用，使活动手指主体上的活动夹持凸起与固定手指上的固定夹持凸起两者对晶圆进行夹持抓取时的力被缓冲弹簧卸掉一部分，从结构上减少了晶圆在夹持过程中崩边碎片的可能性，有效保护晶圆，且动作准确稳定，拆装维护方便，便于根据不同工艺需求进行调整。

今年以来芯源微新获得专利授权3个，与去年同期持平。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了1.32亿元，同比增12.87%。

通过天眼查大数据分析，沈阳芯源微电子设备股份有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目328次；财产线索方面有商标信息49条，专利信息655条，著作权信息98条；此外企业还拥有行政许可67个。

数据来源：天眼查APP

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