中微公司获得发明专利授权：“聚焦环的检测装置、系统、方法及其等离子体处理装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“聚焦环的检测装置、系统、方法及其等离子体处理装置”，专利申请号为CN202110318806.5，授权日为2026年1月9日。

专利摘要：本发明涉及一种聚焦环的检测装置，包括：第一可调机构，放置于基座的承载面上方，可以沿垂直承载面的方向运动；反射结构，第一端与第一可调机构的上方连接，反射结构可绕其第一端旋转；且反射结构的反射平面与承载面成的锐角为第二角度；光源，设置于反射结构上方，用以向反射结构沿垂直承载面方向发射光线，光线可以被反射结构和聚焦环的内侧面反射；检测模块，设置于反射结构上方，用于接收经反射结构和聚焦环的内侧面反射后的反射光线。本发明在无需打开反应系统的前提下，利用光学探测的方法对聚焦环的高度及形状进行测量，通过远程连接控制反射结构的角度和高度变化，不破坏反应腔体的真空环境，操作简便，且方便快捷，提高了检测精度。

今年以来中微公司新获得专利授权15个，较去年同期增加了50%。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了11.16亿元，同比增96.65%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了30家企业，参与招投标项目75次；财产线索方面有商标信息108条，专利信息1644条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可77个。

数据来源：天眼查APP

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