中微公司获得实用新型专利授权：“气体喷淋头、喷淋头组件以及化学气相沉积装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“气体喷淋头、喷淋头组件以及化学气相沉积装置”，专利申请号为CN202423152151.7，授权日为2026年1月9日。

专利摘要：本实用新型提供一种气体喷淋头、喷淋头组件以及化学气相沉积装置。所述气体喷淋头包括：喷淋头本体，其上设有容纳槽；加热器，容置于容纳槽的底部；封堵块，位于容纳槽的顶部且与喷淋头本体固定连接，用于封住容纳槽的顶部开口，封堵块在容纳槽中嵌入一定深度直到压制加热器接触容纳槽的底面。本实用新型用于提高气体喷淋头的传热效率和升温速度，提高机台的吞吐量。

今年以来中微公司新获得专利授权15个，较去年同期增加了50%。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了11.16亿元，同比增96.65%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了30家企业，参与招投标项目75次；财产线索方面有商标信息108条，专利信息1644条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可77个。

数据来源：天眼查APP

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