中微公司获得实用新型专利授权：“缓冲装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“缓冲装置”，专利申请号为CN202520107111.6，授权日为2026年1月9日。

专利摘要：本实用新型公开了一种缓冲装置，设置在工艺腔和传输腔之间，包括缓冲腔，经由所述缓冲腔在所述工艺腔和传输腔之间传输晶圆，所述缓冲装置包括：气体供应装置，用于向所述缓冲腔内提供吹扫气体；抽气装置，用于抽出所述缓冲腔内的所述吹扫气体；控制器，分别与所述气体供应装置以及所述抽气装置连接，所述控制器控制所述气体供应装置和所述抽气装置交替工作，以在第一预设时间内将所述缓冲腔内的气压从第一气压升高到第二气压，并在第二预设时间内将所述缓冲腔内的气压从第二气压降低到第一气压；该缓冲装置能够防止从工艺腔内传出的晶圆携带颗粒物进入传输腔，提高了晶圆的加工良率，减少了传输腔的清洗频率，提高了工艺平台的稳定性。

今年以来中微公司新获得专利授权15个，较去年同期增加了50%。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了11.16亿元，同比增96.65%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了30家企业，参与招投标项目75次；财产线索方面有商标信息108条，专利信息1644条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可77个。

数据来源：天眼查APP

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