中微公司获得发明专利授权：“加热装置、化学气相沉积设备及吹扫方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“加热装置、化学气相沉积设备及吹扫方法”，专利申请号为CN202111581323.0，授权日为2026年1月9日。

专利摘要：本发明公开了一种加热装置、化学气相沉积设备及吹扫方法，用于化学气相沉积设备，所述加热装置包括：加热器底座，所加热器底座上可用于承载一待处理基片。固定边环，其套设在加热器底座上，一缓冲腔和一间隙位于固定边环与加热器底座之间。间隙包括水平间隙和倾斜间隙，水平间隙的一端与缓冲腔连通，另一端与倾斜间隙连通，倾斜间隙的一端开口朝向基片边缘。若干个中空的气塞，其环绕加热器底座边缘周向间隔设置在加热器底座内。每一气塞中设有通孔用于向缓冲腔中通气。本发明能够提高对基片边缘吹扫均匀性。

今年以来中微公司新获得专利授权15个，较去年同期增加了50%。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了11.16亿元，同比增96.65%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了30家企业，参与招投标项目75次；财产线索方面有商标信息108条，专利信息1644条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可77个。

数据来源：天眼查APP

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