华映科技获得发明专利授权：“一种通过多次光阻涂布避免短接的阵列基板的制造方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华映科技（000536）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种通过多次光阻涂布避免短接的阵列基板的制造方法”，专利申请号为CN202310228570.5，授权日为2026年1月9日。

专利摘要：一种通过多次光阻涂布避免短接的阵列基板的制造方法，包括：在玻璃基板上经成膜、曝光、显影、蚀刻及剥膜后图案化出第一金属层；采用PECVD方式沉积一层绝缘层；在绝缘层上涂布一层光阻，其厚度为原有设计的1/2，并进行VCD、软烤制程，去除光阻内的溶剂；在第一次软烤后的光阻上继续涂布一层光阻，其厚度也是为原有设计的1/2；对已涂布好的第一层光阻和第二层的光阻进行正常的曝光，显影制程；进行干蚀刻制程，蚀刻掉未被光阻保护的绝缘层，并剥膜去掉光阻，绝缘层上正常沉积第二金属层。本发明基于现有光罩、制程情况下，仅变更光阻的涂布次数及厚度，可有效避免此制程异常，提高产品良率。

今年以来华映科技新获得专利授权4个，较去年同期增加了300%。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了7365.75万元，同比减2.84%。

通过天眼查大数据分析，华映科技（集团）股份有限公司共对外投资了9家企业，参与招投标项目733次；财产线索方面有商标信息22条，专利信息640条；此外企业还拥有行政许可11个。

数据来源：天眼查APP

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