中微公司获得发明专利授权：“一种等离子体处理腔室的电弧的检测方法及检测装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种等离子体处理腔室的电弧的检测方法及检测装置”，专利申请号为CN202311160730.3，授权日为2026年1月9日。

专利摘要：本发明公开了一种等离子体处理腔室的电弧的检测方法及检测装置，所述方法包括：通过射频功率源向等离子体处理腔内输送射频功率，点燃等离子体处理腔内的反应气体形成等离子体；通过控制器实时获取取样时间段长度内，射频功率源的反射功率信号的方差和平均值；控制器根据反射功率信号的方差和平均值估算对应的取样时间段长度内反射功率信号的尖峰值的数量，反射功率信号的尖峰值的数量小于预设阈值时判定发生弧光放电。本发明实现了快速检测到有真空反应腔内电弧中的微弧，以便及时得知对应的晶圆的缺陷状态的目的。

今年以来中微公司新获得专利授权15个，较去年同期增加了50%。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了11.16亿元，同比增96.65%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了30家企业，参与招投标项目75次；财产线索方面有商标信息108条，专利信息1644条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可77个。

数据来源：天眼查APP

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